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EVG850 TB-自動化臨時鍵合系統(tǒng)

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號:

品       牌:EVG

廠商性質:代理商

所  在  地:上海市

更新時間:2024-11-09 12:45:24瀏覽次數(shù):2915次

聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)
產地類別 國產 應用領域 化工
EVG850 TB-自動化臨時鍵合系統(tǒng) EVG鍵合機 全自動的臨時鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機)可在一個自動化工具中實現(xiàn)整個臨時鍵合過程-從臨時鍵合劑的施加,烘焙,將設備晶圓與載體晶圓的對準和鍵合開始。

EVG850 TB-自動化臨時鍵合系統(tǒng) EVG鍵合機

應用:全自動將臨時晶圓晶圓鍵合到剛性載體上

一、簡介

       全自動的臨時鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機)可在一個自動化工具中實現(xiàn)整個臨時鍵合過程-從臨時鍵合劑的施加,烘焙,將設備晶圓與載體晶圓的對準和鍵合開始。與所有EVG的全自動工具(晶圓鍵合機)一樣,設備布局是模塊化的,這意味著可以根據(jù)特定過程對吞吐量進行優(yōu)化??蛇x的在線計量模塊允許通過反饋回路進行全過程監(jiān)控和參數(shù)優(yōu)化。

       由于EVG的開放平臺,因此可以使用不同類型的臨時鍵合粘合劑,例如旋涂熱塑性塑料,熱固性材料或膠帶。

EVG850 TB-自動化臨時鍵合系統(tǒng) EVG鍵合機二、EVG鍵合機特征

開放式膠粘劑平臺
各種載體(硅,玻璃,藍寶石等)
適用于不同基板尺寸的橋接工具功能
提供多種裝載端口選項和組合
程序控制系統(tǒng)
實時監(jiān)控和記錄所有相關過程參數(shù)
*集成的SECS / GEM接口
可選的集成在線計量模塊,用于自動反饋回路
三、EVG鍵合機技術數(shù)據(jù)

晶圓直徑(基板尺寸):長300毫米,可能有超大的托架、不同的基材/載體組合
組態(tài):
外套模塊
帶有多個熱板的烘烤模塊
通過光學或機械對準來對準模塊
鍵合模塊
四、選件

在線計量
ID閱讀
高形貌的晶圓處理
翹曲的晶圓處理

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